IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikTED
Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-Prozesse zur Abscheidung von Nitrid-, Oxid- und Oxynitrid-Schichten.
Type: Tender
Measurement Technology, Process Technology
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- Tender
- Contracting authority:
- IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Published:
- March 26, 2026
- Deadline:
- Not specified
- Topic:
- Measurement Technology
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Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-Prozesse zur Abscheidung von Nitrid-, Oxid- und Oxynitrid-Schichten.
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