Fraunhofer ENAS
Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich...
Process Piping
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- Fraunhofer ENAS
- Published:
- July 12, 2026
- Deadline:
- July 27, 2026
- Topic:
- Process Piping
Tender description
Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich ein Druckminderer-Tableau aufgebaut werden. Für die anderen Gase werden bestehende Gasleitungen genutzt und erweitert, zusätzliche Druckminderer-Tableaus sind nicht notwendig. Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
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