NaMLab gGmbH
Anbindung TGA u.a. Medien
Lieferung und Installation von Medienversorgungen für 5 Forschungsanlagen (Ionenstrahl-Sputteranlage, 2 Schnellheißöfen, Plasma-Reinigungsanlage, Poliertool) im Reinraum ISO-Klasse 6, Dresden. Medien: technische Gase (Ar, H2, N2, SF6 etc.), Gasverteiler, Gasreinigung, Druckluft, Abluft, Vakuum, Kühl-/DI-Wasser, Abwasser. Inkl. Drucktest, ...
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- Tender type:
- Tender
- Contracting authority:
- NaMLab gGmbH
- Published:
- December 22, 2025
- Deadline:
- Not specified
Tender description
Lieferung und Installation von Medienversorgungen für 5 Forschungsanlagen (Ionenstrahl-Sputteranlage, 2 Schnellheißöfen, Plasma-Reinigungsanlage, Poliertool) im Reinraum ISO-Klasse 6, Dresden. Medien: technische Gase (Ar, H2, N2, SF6 etc.), Gasverteiler, Gasreinigung, Druckluft, Abluft, Vakuum, Kühl-/DI-Wasser, Abwasser. Inkl. Drucktest, Dichtigkeits-/He-Lecktest. CMOS-konforme Partikelfreiheit erforderlich. Installation im Bestand unter Beachtung spezifischer Randbedingungen.
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