Katholieke Universiteit te LeuvenLeuvenTED
AMMO25-5902: De levering en installatie van een reactief ionen-ets-systeem voor het aanbrengen van patronen op dunnefilmgeleiders en isolatoren op vlakke substraten zoals siliciumwafers
Lieferung und Installation eines reaktiven Ionen-Ätzsystems (RIE) zur Strukturierung von Dünnschichtleitern und Isolatoren auf flachen Substraten wie Siliziumwafern.
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- Katholieke Universiteit te Leuven
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- March 26, 2026
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Lieferung und Installation eines reaktiven Ionen-Ätzsystems (RIE) zur Strukturierung von Dünnschichtleitern und Isolatoren auf flachen Substraten wie Siliziumwafern.
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