Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen
Advanced cleaning tool (IPMS-MRS09.2) - PR1119624-2480-P
Advanced cleaning tool (IPMS-MRS09.2) Optionen: LV Pos. 15.3 - Set of consumable parts (o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period LV Pos. 16.1 - The tool is covered by an extended warranty.
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- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau
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- September 02, 2026
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Advanced cleaning tool (IPMS-MRS09.2) Optionen: LV Pos. 15.3 - Set of consumable parts (o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period LV Pos. 16.1 - The tool is covered by an extended warranty.
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenBeschreibung: Advanced cleaning tool (IPMS-MRS09.2) Optionen: LV Pos. 15.3 - Set of consumable parts (o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period LV Pos. 16.1 - The tool is covered by an extended warranty.Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen1 Stück - Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) Option 1 (LV Pos. 2.1): Please offer an extended warranty of further 12 months (in total 24 month) Option 2 (LV Pos. 3.2): The tool should handle wafers with the size of Option 3 (LV Pos. 3.6): The equipment provides a chuck for wafer size of 300mm Option 4 (LV Pos. 3.8): The machine can handle a tape mounted wafer with dicing frame for 300mm wafer according to IPMS specificationDefect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1) - PR948311-2480-P
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen1 Stück Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1) Diese Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein Fehlerinspektionssystem, das für die Erkennung, Identifizierung und Klassifizierung von Partikeln und Musterfehlern auf strukturierten und unstrukturierten Wafern entwickelt wurde. Das Gerät kann Substrate mit einer variablen Dicke von etwa 390 µm bis 1200 µm aufnehmen und bietet somit Flexibilität für verschiedene Wafertypen und Anwendungen. Das Inspektionssystem verfügt über eine Empfindlichkeit von bis zu 200 nm und ermöglicht so die Erkennung selbst kleinster Defekte, die die Leistung des Wafers beeinträchtigen könnten. Das System ist für den Halbleiterfertigungsprozess optimiert und speziell auf 200-mm-MEMS-Wafer in einer CMOS-kompatiblen Reinraumumgebung ausgerichtet. Optionale Positionen: 1.7 Allgemeine Anforderungen Fähigkeit zur Verarbeitung von 300-mm-Wafern ja/nein 3.2 Prozessspezifikation Fähigkeit zur separaten BF/DF-Beleuchtung ja/nein 3.3 Prozessspezifikation Fähigkeit zur Zweikanalinspektion (BF/DF) ja/nein 3.7 Prozessspezifikation Das Werkzeug unterstützt die Erstellung von waferlosen Rezepten ja/nein 3.29 Prozessspezifikation Fähigkeit zur Erzeugung eines vollständigen Waferbildes ja/nein 4.2 Kontaminationsgrad Kontaminationsgrad für Nichtedelmetalle Al, Ti ≤ 50,0*E10 at/cm², alle anderen Metalle ≤ 5,0*E10 at/cm²; ja/nein 4.4 Kontaminationsgrad Kontaminationsgrad für Edelmetalle (Ag, Au, Pd, Pt, Ru) Bestätigung der Edelmetallkonzentration < 0,05*E10 at/cm2 (< LOD); ja/nein 5.5 Kassetten-/Wafer-Spezifikationen Option zur Handhabung von Wafern mit hoher Wölbung < ± 200 µm ja/neinWaferstepper & coating line (IPMS-MRS16.1.1, IPMS-MRS16.1.2) - PR946521-2480- P
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchenDeadline: Sep 04DIW Cleaning Tool (ENAS-07.7)26/338A Single Party Framework Agreement for a Multi Material Drop-On-Demand (DoD) Inkjet 3D Printing System for Atlantic Technological University
Atlantic Technological UniversityLetterkennyDeadline: Sep 04The Contracting Authority proposes to engage in a competitive process for the establishment of a single operator framework agreement for the supply, installation, and commissioning of a Multi Material Drop-On-Demand (DoD) Inkjet 3D Printing System to support research and development activities. Please refer to the attached documentation for further informationCabinet set for operating media supply and disposal for 6 media (IMS 11.2) - PR1172797-2380-P
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle BauMünchen1 Stück Schrankset zur Steuerung der Medienzufuhr und -entsorgung für 6 Medien Option 1: Schnelkupplungslauf Option 2: Frischwassertrank >30lSecondary ion mass spectrometer (SIMS) - PR1195891-2050-W
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