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ALD-Anlage
Ausschreibung für eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) zur Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten vom Einzelchipformat (5x5 mm²) bis 150 mm Wafer. Das System muss reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten sowie Multilagen ohne Vakuumunterbrechung erm...
Laborinstrumente, Verfahrenstechnik
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Inhalt auf einen Blick
- Ausschreibungstyp:
- Ausschreibung
- Auftraggeber:
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Veröffentlicht:
- 07. Juli 2026
- Frist:
- 11. August 2026
- Thema:
- Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Ausschreibung für eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) zur Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten vom Einzelchipformat (5x5 mm²) bis 150 mm Wafer. Das System muss reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten sowie Multilagen ohne Vakuumunterbrechung ermöglichen. Lieferung eines Steuer-PCs mit Monitor, Tastatur, Maus, Softwarelizenzen und Betriebssystem (Win 11).
Weiterführende Details
Mit dem kostenlosen Zugang stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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7 Datenbereiche verfügbar
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Auftraggeber
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Ausführungsorte
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Bieter und Auftragnehmer
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
- Erstellen Sie ein kostenloses Konto auf Auftrag One. Danach sehen Sie alle Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung in einem strukturierten Ablauf.
- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 11. August 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V..
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf Auftrag One werden diese Punkte priorisiert dargestellt.