Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.WaldheimTED
Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Lieferung, Installation und Übergabe eines Elektronenstrahl-Lithografiesystems zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
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- Contracting authority:
- Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
- Published:
- May 12, 2026
- Deadline:
- June 17, 2026
Tender description
Lieferung, Installation und Übergabe eines Elektronenstrahl-Lithografiesystems zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
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